品总体要求:采用先进的镀膜工艺,追求性价比最优、可靠性高,有自己的特色,设计出的产品要能适应工业生产的要求,设备美观、性能可靠。产品主要应用领域是小型塑化零部件表面表面处理。
主要参数
项目
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ZDJ-F1500
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极限压力 Pa
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≤1×10-3Pa(空载)
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静态漏放气率 Pa.L/s
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≤0.5 Pa.L/s
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二次恢复真空时间 min
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≤7 min
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低真空抽气时间 min
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≤6 min
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工作真空度 Pa
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2×10-2Pa
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磁控靶功率 kVA
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120kVA 带载1000V
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离子轰击源功率 kVA
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25kVA
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设备总功率 kVA
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200kVA
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总需水量m3/h
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8 m3/h
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气源进口气压 M Pa
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≥0.6 M Pa
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总重量 t
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主机14t;
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外形尺寸 m
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主机:7.2×5.4×3.33m
工件转盘:φ750mm
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工件架转速 r/min
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0~6 r/min
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